注意手术室净化湿度问题
请注意手术室的湿度净化问题。 我们使用的层流手术室的湿度该怎么办? 说明手术室净化工程中湿度会怎么样。
手术室净化工程湿度过高时出现的问题很多。 相对湿度超过55时,冷却水管壁会发生结露,如果在精密装置或电路中发生,会引起各种事故。 相对湿度为50,容易生锈。 另外,如果湿度过高,附着在硅片表面的灰尘就很难通过空气中的水分子化学吸附在表面。 相对湿度越高,附着越难去除,但相对湿度为30时,静电力容易使粒子吸附在表面,同时大量的半导体器件容易被破坏。 硅片生产的最佳温度范围为35—45。
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